工业经济论文_中国工程院院士吴汉明：硅基技 - 农业工程技术杂志社投稿

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工业经济论文_中国工程院院士吴汉明：硅基技

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文章摘要:几十年来，半导体产业一直遵循摩尔定律高速发展，半导体制程节点正在逐渐向3纳米演进。但是，受技术瓶颈和研制成本剧增等因素的影响，摩尔定律正在逼近物理极限。在后摩尔时代，什么样的技术会起到关键性作用？我国又有哪些技术壁垒亟待突破？中国工程院院士、浙江大学微纳电......

文章关键词:光刻机,芯片制造,刻蚀工艺,半导体产业,石墨烯,后摩尔时代,产教融合,中国工程院院士,

论文作者:许子皓许子皓

作者单位:许子皓

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